第1537章 (第1/6页)
川昊明提示您:看后求收藏(爱看小说网www.aikanwx.com),接着再看更方便。
第1537章
“徐教授,为了实现光刻机高分辨率的图案转移,我们根据光刻机理论体系得知,我们需要设计出高精度的光学系统。”
“在设置高精度的光学系统之中,我们主要对其控制系统设计做了详细的研究。”
“只不过怕到了最后,我们发现即使我们设计出了堪称完美的控制系统却也无法形成高精度的光学系统......”
......
徐浩听过光刻机项目总负责人曾祥胜的解答后。
心中顿时有了几分猜测。
首先在光刻机的高精度光学系统之中。
控室系统设计确实是实现光刻机高精度成像的重要保障。